高精度回射光學元件:實現精準光束返回和方向控制,綜合角精度可達2–8 arcsec。
定制化棱鏡解決方案:支持不同結構和規格的定制化設計。
技術指標
材質
石英、K9
綜合角精度
2 – 8 arcsec
應用領域
泛半導體制程設備
半導體激光器測試/老化/自動化
科學研究
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